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無油渦旋真空泵的發展與應用
一、引言
; 渦(wo)(wo)旋(xuan)的(de)(de)概(gai)念(nian)相當久(jiu)遠，20世紀(ji)初世界上就(jiu)已經有了渦(wo)(wo)旋(xuan)技(ji)術的(de)(de)專利。但由于(yu)當時(shi)技(ji)術水平的(de)(de)限制，渦(wo)(wo)旋(xuan)機構制造不出來，渦(wo)(wo)旋(xuan)的(de)(de)概(gai)念(nian)也就(jiu)被(bei)(bei)淡忘(wang)了。1973年渦(wo)(wo)旋(xuan)機構被(bei)(bei)重(zhong)新提起并制造出靠前臺模型機構，使(shi)這項技術實際應用成為可(ke)能(neng)。渦旋機構的可(ke)靠性高、運行平(ping)穩、噪音極低、節省(sheng)能(neng)源等潛(qian)力和巨大優(you)勢(shi)馬上(shang)引起了冰箱(xiang)行業(ye)的重視(shi)和(he)迫切需求，大受(shou)行業(ye)(ye)優先先者青睞，迅速被投入(ru)工業(ye)(ye)化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司(si)的(de)渦旋壓縮機技術(shu)與產品引優(you)先了世界渦旋技術(shu)實用化的(de)浪潮，帶(dai)動了如(ru)冰(bing)箱、空調等(deng)諸(zhu)多行業(ye)的(de)技術進(jin)步和產品的(de)更新(xin)換(huan)代。
今天(tian)渦(wo)旋(xuan)技術已經由初期(qi)的應(ying)用(yong)在壓(ya)縮機行(xing)業推(tui)廣到真(zhen)(zhen)空泵制造(zao)業，實(shi)現了全(quan)無油、運行(xing)更平穩、噪(zao)音(yin)更低、更加節省能源的渦(wo)旋(xuan)清潔真(zhen)(zhen)空獲得技術的實(shi)用(yong)化。人們應(ying)用渦旋(xuan)概念與原理制造出了對真(zhen)空應用儀(yi)器設備和環境沒有污染,并且抽(chou)速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的(de)單級、雙級無(wu)油渦(wo)旋真空泵系列(lie)產品。
上(shang)個(ge)世(shi)(shi)(shi)紀90年(nian)代初，世(shi)(shi)(shi)界上(shang)首臺渦旋真(zhen)空(kong)泵推向市(shi)場，渦旋技術(shu)由此開始作(zuo)為(wei)(wei)一(yi)種新型真(zhen)空(kong)獲得技術(shu)在(zai)世(shi)(shi)(shi)界范圍內被推廣應用。到目前為(wei)(wei)止，世(shi)(shi)(shi)界上(shang)渦旋真(zhen)空(kong)泵的生產(chan)廠家集中在(zai)美國(guo)、日本(ben)和歐洲(zhou)，以日本(ben)的Anest Iwata、美國(guo)的Varian、德(de)國(guo)的Busch等為(wei)代表。產品包括了自0.25L/S到10L/S系(xi)列產品，有些15L/S或更大抽(chou)氣量的產品也在試驗階段。
二、無(wu)油渦旋真空泵的特點與(yu)應用(yong)優先(xian)域(yu)
清潔的真(zhen)空環境(jing)(jing)一直是科學家(jia)和企業界(jie)追求的理想真(zhen)空環境(jing)(jing).自能夠創造真(zhen)空環境(jing)(jing)開始,人們(men)就試圖采用(yong)不同手段達到清潔真(zhen)空的效果.時至今日,清潔真(zhen)空獲(huo)得設備已經(jing)發
展(zhan)到冷凝泵(beng)、住(zhu)賽(sai)泵(beng)、爪式泵(beng)、渦旋泵(beng)以及隔膜泵(beng)等多種產品.在現有的無(wu)(wu)油真(zhen)空泵(beng)當中,無(wu)(wu)油渦旋真(zhen)空泵(beng)與其(qi)他種類的無(wu)(wu)油真(zhen)空泵(beng)相比具有下述特點:
①.無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣(qi)量大(da)——雙(shuang)渦旋盤，結構與(yu)單級(ji)相比相同(tong)直徑泵(beng)抽氣(qi)容(rong)積為(wei)2倍，節省能源；
③.抽氣效(xiao)率高——帶有3-4個(ge)抽氣單(dan)元，壓差(cha)小；大氣與真空(kong)之(zhi)間由O型圈密封，泄(xie)漏(lou)低；
④.非接觸,良(liang)好平(ping)衡,力(li)矩影響(xiang)小(xiao)(xiao)，噪(zao)音低(di)，振(zhen)動小(xiao)(xiao)；
⑤.結構簡單緊(jin)湊，相同尺寸下(xia)，運動半徑小，運行平(ping)穩(wen)；
⑥.體(ti)積小，維(wei)修方便，維(wei)護費用(yong)低；
⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。
目前無油渦旋真空泵的應用優先域為:
①.半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；
②.科學儀(yi)器行業——同(tong)步輻射光(guang)束線、電(dian)子(zi)顯(xian)微鏡、分(fen)析測試儀(yi)器；
③.機械設(she)備行業——材料制備設(she)備、真空(kong)檢(jian)測、材料提(ti)純設(she)備；
④.化學(xue)工業；
⑤.醫療設備(bei)(bei)——牙科儀器、透析機、生物(wu)制(zhi)品與藥品制(zhi)備(bei)(bei)；
⑥.包裝行業——食品、藥品、生物制品等(deng)包裝設備。
為解決我(wo)國科學(xue)研(yan)究和新材料、半導體等行(xing)業(ye)發展(zhan)面臨的技(ji)術(shu)(shu)手(shou)段存在的基礎(chu)、共性問(wen)題，近年來已經不(bu)斷有業(ye)內能手(shou)向國內介紹渦旋無油真空泵技(ji)術(shu)(shu)及其發展(zhan)現狀，國外(wai)渦旋無(wu)油真(zhen)空泵(beng)生(sheng)產廠家與代理對中國(guo)市(shi)(shi)場的開發使其(qi)在中國(guo)市(shi)(shi)場的銷量在逐年增長。國(guo)內(nei)真(zhen)空行業相關(guan)企業也開展(zhan)了(le)基礎、應用研究及小規模試(shi)制無(wu)油渦旋真(zhen)空泵(beng)生(sheng)產等(deng)不同階段(duan)的探索，只是由于技(ji)術(shu)基礎、激勵機制、研發(fa)手(shou)段(duan)、資金投入的限制，研發(fa)工(gong)作進展不是非常快。產品質量、穩定可(ke)靠性(xing)、以(yi)及技(ji)術(shu)推廣與市場開拓規劃、原則、手(shou)段等也(ye)是(shi)問題(ti)。因(yin)此無油(you)渦旋真空泵系(xi)列(lie)產品下(xia)一步(bu)產業(ye)化技術(shu)研發與市場開(kai)(kai)發是(shi)企業(ye)必須解決(jue)的兩大問題(ti)。隨著研發手(shou)段、資金(jin)投入、市場開(kai)(kai)拓問題(ti)的解決(jue)，無油(you)渦旋真(zhen)空泵(beng)將會打(da)開(kai)市場(chang)，從而提高整(zheng)個真(zhen)空獲(huo)得行業的(de)技術水平。成功的(de)無油渦旋真(zhen)空泵(beng)系列產(chan)品(pin)研發(fa)與市場(chang)開(kai)發(fa)模式(shi)也將為我國其他(ta)清潔真(zhen)空獲(huo)得設備如冷凝(ning)泵(beng)、柱塞泵(beng)、爪式泵以及隔膜泵等提供有(you)效(xiao)的借鑒。
沒有了
